Existem muitos fatores que restringem o desenvolvimento de máquinas de galvanização a vácuo na China, especialmente o processamento de tântalo e peças feitas de tântalo, a principal matéria-prima usada na fabricação de fontes de evaporação de máquinas de galvanização.Tântalo e ligas de tântalosão adequados para a fabricação de acessórios de suporte, aquecedores e escudos térmicos em equipamentos a vácuo devido ao seu alto ponto de fusão, boa estabilidade e baixa pressão de vapor em altas temperaturas. Atualmente, poucas empresas nacionais se dedicam à produção de peças de tântalo para evaporadores a vácuo, o que leva a uma forte dependência das importações de peças de tântalo para evaporadores a vácuo, e há muitas dificuldades na produção e fabricação de peças de tântalo para evaporadores a vácuo na China.
O aquecimento por resistência é frequentemente usado como fonte de evaporação para materiais com temperaturas de evaporação de 1 000~2 000 C. Geralmente, é necessário que o ponto de fusão do material fonte de evaporação seja cerca de 1000 C superior à evaporação temperatura de trabalho, a pressão de vapor de equilíbrio é baixa, a fragilidade após o resfriamento de alta temperatura é pequena e tem boa estabilidade química em um ambiente de vácuo. Portanto, o tântalo é um material comum para evaporação a vácuo.
O tântalo é um metal cinza claro com cor levemente azul e alta densidade (16,5) × 103 kg/m3), alto ponto de fusão (2 996 C), baixo coeficiente de expansão linear (6,5 entre 0 e 100 C) × 10-6 K-1), dúctil, mais resistente que o cobre, trefilado a frio em fio fino ou folha. A condutividade térmica do tântalo a 300 K é 52,1 W (m K) -1 e o módulo de elasticidade é 192 × 103 MPa à temperatura ambiente.
O teor de tântalo de Ta1 é superior a 90,35 por cento; Ta2 contém mais de 79,50 por cento de tântalo. No entanto, a pureza do tântalo é superior a 99,95% para chapeamento de evaporação a vácuo comum e 99,99% para máquinas de chapeamento OLED de alta qualidade. Obviamente, os requisitos básicos de tântalo para revestimento a vácuo não podem ser atendidos usando marcas e padrões existentes. A produção de tântalo de alta pureza tornou-se um fator chave que restringe a localização de peças de tântalo para máquinas de revestimento a vácuo.
O baixo ponto de fusão de outros elementos metálicos (como Fe, Ni, etc.) ou alta pressão de vapor de equilíbrio (como W) ou baixa estabilidade (Ti) em material de tântalo. Quando o material de tântalo de baixa pureza evapora em altas temperaturas, outros elementos metálicos podem se decompor e evaporar ou reagir com outras moléculas na câmara de evaporação, resultando em componentes do filme desviando dos componentes do material do evaporador. Portanto, a evaporação a vácuo de peças de tântalo de alta pureza pode reduzir significativamente a poluição do material de origem da evaporação no revestimento.
